Технологические особенности формирования кремниевых пьезорезистивных акселерометров с расширенным температурным диапазоном измерений

Актуальность и цели. Рассмотрены кремниевые пьезорезистивные МЭМС-акселерометры, их достъоинства и недостатки. Объектом исследования являются конструкции чувствительных элементов (ЧЭ) пьезорезистивных микромеханических датчиков. Целью работы является анализ технологических особенностей формирования ЧЭ кремниевых пьезорезистивных акселерометров. Материалы и методы. Использован системный подход к рассмотрению технологических особенностей и материалов при формировании ЧЭ пьезорезистивных акселерометров. Результаты. Предлагается применение в конструкциях ЧЭ новых материалов и структур, таких как карбид кремния и «кремний диэлектрик кремний», а также использование измерительной схемы из поликристаллического кремния. Выводы. Использование предложенных вариантов конструктивно-технологических решений позволит создавать микромеханические акселерометры с улучшенными выходными параметрами.
Background. Considers silicon piezoresistive MEMS accelerometers, their advantages and disadvantages. The object of research is the design of sensing elements (SE) piezoresistive MEMS sensor. The aim of the work is the analysis of the technological features of formation of SE silicon piezoresistive accelerometers. Materials and methods. A systematic approach to the consideration of technological features and materials in the formation of Jae piezoresistive accelerometers. Results. Provided the use in constructions SE new materials and structures, such as silicon carbide and «silicon-insulator-silicon» as well as the use of the measuring circuit from polysilicon. Conclusions. The use of the options proposed structural and technological solutions will create a micromechanical accelerometer with improved output parameters.