Caracterización estructural y morfológica de superredes de Fe/Ti por reflectividad de rayos X y microscopía electrónica de transmisión de alta resolución

Las multicapas y superredes constituidas por el apilamiento de películas delgadas de diferentes materiales, entre ellos los magnéticos y no magnéticos, dan origen a la fabricación de diversos sensores electrónicos y espintrónicos. Las películas delgadas son crecidas principalmente empleando el método de pulverización catódica o sputtering. En este trabajo se presenta, la superred conteniendo 6 repeticiones o periodos (N=6) en la nanoestructura: Vidrio/Ti(4.1 nm)/[Fe(2.3 nm)/Ti(1.8 nm)/Fe(2.3 nm)/Ti(4.1 nm)][6] crecidas por magnetron sputtering. La caracterización del espesor y rugosidad de la película se realizó mediante la técnica de reflectividad de rayos X (XRR) a bajo ángulo y en complemento, se prepararon lamelas por la técnica de haz de iones enfocados para su posterior análisis morfológico realizado por microscopía electrónica de transmisión de alta resolución (HRTEM). Los valores estimados por reflectividad de rayos X concuerdan con los valores encontrados por HRTEM. Esto permite optimizar el proceso de crecimiento de películas delgadas a base de Fe/Ti para el desarrollo de nuevos dispositivos magnéticos.