Search Results

Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

• Authors : Kopf, Marlene

Subjects: MEMS-Sensor; Drehratensensor; Inertialsensor

Record details

Mikromechanische Drehratensensoren: Simulation mechanischer Nichtlinearitäten sowie des Einflusses der Aufbau- und Verbindungstechnik

• Authors : Dorwarth, Markus;

Subjects: MEMS yaw-rate sensor, nonlinearity, TPWL, packaging stress, die attach simulation; ddc:621.3; MEMS

Record details

Simulation methods for the mechanical nonlinearity in MEMS gyroscopes

• Authors : Putnik, Martin;

Subjects: MEMS, gyroscope, angular rate sensor, frequency shift, me- chanical nonlinearity, geometric nonlinearity, finite element method, reduced order modeling, simulation; ddc:621.3; MEMS, Gyroskop, Drehratensensor, Frequenzverschiebung, mechanische Nichtlinearitäten, geometrische Nichtlinearitäten, Finite Elemente Methode, Modellordnungsreduktion, Simulation

Record details

System dimensioning, digital postprocessing, and nonideality control for electromechanical Delta-Sigma-Modulator based Angular Rate Detection

• Authors : Maurer, Michael

Subjects: MEMS; Sigma-Delta-Wandler; Drehratensensor

Record details

Das Ohr trinkt mit.

• Authors : Denninger, Gert¹

• Source: Physik in Unserer Zeit. May2013, Vol. 44 Issue 3, p142-146. 5p.

Record details

Entwicklung eines mikromechanischen Drehratensensorsystems mit nichtlinearem Anregungskonzept auf der Basis des am ISIT entwickelten PSM-X2-Prozesses

• Authors : Schwarzelbach, Oliver;

Subjects: doctoral thesis; MEMS; Abschlussarbeit

Record details

Two-level closed-loop control of vibratory micromachined gyroscopes ; Zweistufiger geschlossener Regelkreis für den Betrieb von mikromechanischen Drehratensensoren

• Authors : Northemann, Thomas

Subjects: Drehratensensor; Regelkreis; Mikromechanik

Record details

Monolithic integrated gyroscope with time-continuous evaluation circuit

• Authors : Scheurle, Andreas; Kern, Dieter (Prof. Dr.)

Subjects: Integrierte Schaltung , MEMS; Drehratensensor , Monolithisch , Zeitdiskret , Zeitkontinuierlich; Gyroscope , Monolithic , Timecontinuous , Timediscrete

Record details

Modellierung und Simulation eines mikromechanischen Drehratensensors

• Authors : Billep, Detlef; Technische Universität Chemnitz

Subjects: Squeeze Film Dämpfung; Kettenschwinger; ddc:621.3

Record details

Ordnungsreduktion in der Mikrosystemtechnik

• Authors : Gugel, Denis;

Subjects: MEMS; Modal Superposition; Systemsimulation

Record details